Ultraheli pihustuspürolüüsiseadmed ja TCO kattesüsteem
Ühtne õhuke kile indium tinaoksiid (ITO), alumiiniumist legeeritud tsinkoksiidi (AZO), tsinkoksiidi (ZnO) ja fluori legeeritud oksiidikihid toodetakse tavaliselt ultraheli pihusti pürolüüsi tehnoloogia abil. See ainulaadne protsess nõuab spetsiaalseid katteseadmeid vajaliku paksuse ja kuju loomiseks ning söövitavate lahenduste pihustamiseks kõrge temperatuuriga keskkonnas.
Kõrgtemperatuurilise ultrahelipihustuspürolüüsi ajal pihustatakse eelkäija lahust (näiteks alumiinium tsinkoksiid) substraadile, mida kuumutatakse umbes 300-500 kraadile. Lahusti aurustub transpordi ajal ja substraadi pinnal kasvab ZnO kristallkile, tavaliselt naatriumi kaltsiumi või muu klaasi. Substraadi temperatuur määrab tavaliselt kile morfoloogilised omadused.
Ultraheli pihusti märg sadestumine annab tootjatele kulutõhusa alternatiivi vaakumi sadestumisele ja pritsimisele, millel on suurem ülekandefektiivsus. Ultraheli atominifitseeriva düüsi tekitatud tilkade suurus on väga ühtlane, mis võib saavutada pürolüüsi reaktsiooni tilkade optimaalse suuruse ja kõik tilgad reageerivad samaaegselt samaaegselt sadestusprotsessi ajal. Ükskõik, kas tegemist on teadus- ja arendustegevusega või masstootmisega, toob see kaasa tõhusaid TCO tootmisprotsesse.
Funsonicu ultraheli otsiku kasutamine ületab protsessi väljakutse väga söövitavate hapete pihustamiseks. Düüsi on valmistatud korrosioonikindlatest konstruktsioonimaterjalidest ja sellel pole ummistuse, korratavuse ja pika eluea omadusi. See võib isegi pihustada väga söövitavat vesinikkloriidhapet või hüdrofluoriidhappe lahuseid.
Ultraheli pihusti pürolüüsisüsteemi eelised TCO kattekihi jaoks:
1. võrreldes CVD (keemiline aurude ladestumine) protsessiga, on ultraheli pihustuspürolüüs lihtne, paindlik ja kulutõhus.
2. tõestatud TCO katte ekspertiis.
Võrreldes muude pihustusmeetoditega, võivad ultraheli pihustid lasta ühtlasemaid kihte.
4. Lihtne reguleerida ja korratavaid katteparameetreid.
5. täielikult integreeritud patenteeritud ultraheli otsikute tehnoloogia ja vedeliku kohaletoimetamine, pakkudes täielikku kattelahendust.
Alternatiivsed madala temperatuuriga pihustuspürolüüs (250 kraadi ja allpool) on pidevalt tekkinud ning kemikaalidel on läbi viidud rohkem teadusuuringuid ja arengut, mis ei vaja kõrgtemperatuurilisi sihtsubstraate.
