Ultraheli kattetehnoloogia fotoresisti pihustamiseks

Ultrahelipihustamine on lihtne, ökonoomne ja reprodutseeritav protsess fotoresistide ja polüimiidikattete jaoks. Ultraheli kattesüsteem saab voolukiiruse, kattekiiruse ja sadestumise koguse peeneks juhtimiseks kasutada lihtsaid kihilisi tehnikaid.

Ultraheli pihustamise tehnoloogiat kasutatakse pooljuhtide fotoresistide katete jaoks. Võrreldes traditsiooniliste ketramise ja immutamise katteprotsessidega, on sellel suure ühtluse, hea mikrostruktuuri kapseldamise ja kontrollitava kattepinna eelised. Viimase kümnendi jooksul on täielikult demonstreeritud kolmemõõtmeliste mikrostruktuuri fotoresistide katted. Fotoresistide kattete valmistamise protsess ultraheli pihustamise abil on mikrostruktuuri pakendamise ja ühtluse osas märkimisväärselt parem kui traditsioonilised ketruskatted.

Ultraheli pritsimissüsteem saab täpselt juhtida voolukiirust, kattekiirust ja settimismahtu. Madala kiirusega pihustusvormimine määratleb pihusti täpse ja juhitava mustrina, et vältida liigset pihustit väga õhukeste ja ühtlaste kihtide tootmisel. See ultraheli pihustamissüsteem suudab kontrollida paksust alammikronist üle 100 mikronini ja katta mis tahes kuju või suurust.

Fotoresistide ultraheli kattetehnoloogia omadused:

◆ Erinevate pinnakontuuride ühtlane kile katvus

◆ Kontaktide pihustamine

◆ Mikrovoolu pihustamine, mitu vedelat söötmisskeemi

◆ Kiire kontrolli täpsus

◆ Kõrge vedeliku kasutamise määr

◆ Kalli ja katte jõudluse kõrge paindlikkus

◆ Kõrge ülekande efektiivsus ja minimaalsed jäätmed

◆ Korduv küps pihustamise protsess