Ultraheli hajumise sissejuhatus

 

Hajumispihustid kasutavad ühtlase ja laia pihustusmustrite saamiseks madala rõhuga õhku/gaasi, iga düüs on kuni 9,8 tolli (25 sentimeetrit), sõltuvalt substraadist kaugusest. Õhuvoolu kiirus on juhitav, et võimaldada tootele või substraadile pihusti madalat või suurt mõju. Mitu järjestikku ühendatud pihustid võivad saavutada lõpmatu laiuse. Hajumisotsiku kujundust kasutatakse väga korratavate laiade mustrite jaoks saledate pihustide korral.

Hajumise tüüpi ultraheli düüs on ultraheli atomistav otsik tsükloni koonuse pihustiga. See kasutab ultraheli pihustamise otsikute tehnoloogiat ja spetsiaalse keerise voolukanali kujunduse kaudu muundatakse kandegaas ühtlaseks pöörlevaks õhuvooluks, nii et vedela udu ultraheli atomeerimine hajuks tsükloni pihusti kujul, laiendades pihusti Aatomisaatori pindala. Ultraheli pihustid saab pihustada ka vertikaalsetele või kõveratele pindadele ja muudele nurgapõhistele substraatidele.

Hajuvate ultrahelipihustite tüüpiline rakendamine on fotoresistide kattekiht pooljuhtide kiipidel, kus fotoresisti pihustatakse pooljuhtide kiipidele. Hajumise tüüpi ultraheli hajumise kiirguse hajumise tõttu saab ühtlase fotoresisti kile moodustada mitte ainult vahvli tasapinnal, vaid ka vahvli mikrostruktuuri külgseintel ja nurkadel. Lisaks saab hajuvat tüüpi ultraheli otsikut kasutada ka õhukeste kilede päikeseelementide kattete, kaltsiumitanaat päikeseelektriliste kattete, AR ülekande ja peegelduse kile katted, soojusisolatsiooni kilekatted, superhüdrofoobsed kattekatted, PCB voogu ja muud rakendused.

 

 

Põhimõte:

 

Ultraheli pihustid muudavad kõrgsageduslikud helilained piesoelektriliste muundurite kaudu mehaaniliseks energiaks ja muundavad seejärel mehaanilise energia vedelikuks. See pikisuunaline üles- ja allapoole suunatud vibratsioon tekitab ultraheli otsiku tipus olevas vedelas kiles seisvaid laineid, kus nende lainete amplituudi saab kontrollida toitegeneraator. Need statsionaarsed vedelad lained võivad ulatuda ultraheli düüsi ülaosast ülespoole ja kui tilgad lahkuvad düüsi pihustavast pinnast, lagundatakse need mikromeetri suuruste tilkade ühtlaseks peeneks uduks.

Erinevalt survepihustitest ei kasuta ultraheli pihustid kõrge rõhku vedeliku sundimiseks pritsimiseks väikese augu kaudu. Vedelik siseneb läbi suhteliselt suure düüsi keskpunkti ilma rõhuta ja seda pihuses ultraheli vibratsiooni abil.

Iga ultraheli otsik töötab konkreetse resonantssagedusega, mis määrab tilga keskmise suuruse. Tilkade suuruse erinevus on väga väike ja selle jaotust saab matemaatiliste arvutuste abil teatud vahemikus täpselt ennustada. Näiteks tekitab 120 kHz düüs vee pihustamisel keskmise tilga suurusega 18 mikronit. Mida suurem on sagedus, seda väiksem on keskmise väärtuse langus.

 

 

Eelis:

 

1. suur pinna pihustamine, pihustamise laius: 40-150 mm

2. Coating uniformity:>95% ühtlus

3. Salvestage tooraine: tooraine kasutamise määr on üle 85%, mis on neli korda suurem kui traditsiooniline kahe vedeliku pihustamine

4. Katte paksuse kõrge täpsusega kontroll: 20 nm kuni kümnete mikromeetritega saab valmistada, katte paksuse täpse kontrolliga

5. Peened pihustatud osakesed

6. ühtlaselt pihustatud osakesed

7. Seda saab vahelduvalt või pidevalt pihustada

8. ülikerge pihustusvool

9

10. korrosioonivastane otsik

11. Suure täpsusega juhitav pihustamine